氟隆化工氟食素迷你三路连接阀

Flon氟隆化工氟食素迷你三路连接阀NR1128

Flon氟隆化工氟食素迷你三路连接阀NR1128

一、产品基础概述

NR1128 是日本 Flon 氟隆化工氟食素全氟树脂系列微型三通切换阀，定位半导体、高纯化学、微量腐蚀流体管路专用小型三通球阀，业内统称迷你三路连接阀；“氟食素" 为 Flon 自研高纯 PCTFE/PFA 复合氟树脂材料体系，主打无金属析出、耐蚀、微型化集成管路切换场景。

基础型号信息

完整型号：NR1128

品类：微型三通 L 型切换球阀（三路连通，90° 手动换向）

品牌：Flon（日本氟隆化工，专攻高纯氟流体元器件）

结构形式：一体式全氟塑料阀体，无金属过流部件

适配管路：标准 1/4 英寸高纯氟管（PFA/PTFE 管卡套快插）

二、核心材质（氟食素材料核心优势）

过流全部位：氟食素高纯 PCTFE + 改性 PFA 复合料

介质接触阀体、球芯、阀座、密封环全部为氟食素氟树脂，不含不锈钢、铜、橡胶等易析出金属 / 杂质部件；化学惰性覆盖浓酸碱、光刻药液、蚀刻液、各类高纯有机溶剂，无溶出、无离子污染，适配半导体超净制程。

外部操作手柄：改性防静电 PFA

防静电设计，避免洁净车间静电击穿晶圆 / 药液；低摩擦不粘药液，表面光滑。

密封结构：一体成型氟树脂硬密封，无软胶圈老化渗漏隐患。

三、工作原理与流路切换逻辑

属于L 型三通微型球阀，手动 90° 旋转手柄完成三种流路模式切换：

工位 1：入口 A ↔ 出口 B 导通，C 通道关闭；

工位 2：入口 A ↔ 出口 C 导通，B 通道关闭；

中位全关：A/B/C 三路切断，可管路泄压、取样、设备隔离。

球芯一体式精密注塑成型，内腔流道光滑无滞留死角，微量流体切换无残液交叉污染，适合微量药剂配比、取样、清洗管路分时切换。

四、关键技术参数

通径与尺寸

迷你微型结构，流通内径 φ4mm；整体阀体长宽仅 32×26mm，占用极小安装空间，适配设备内部密集集成管路。

承压范围

常温额定工作压力：0~0.7MPa；短时耐压 1.0MPa；真空工况可稳定使用，无渗透、无脱层。

使用温度

-20℃ ~ 120℃，高低温下氟树脂密封不硬化、不变形；冷热药液交替工况稳定。

连接方式

三端口统一 1/4" 卡套快插接口，直插 PFA/PTFE 软管，无需胶水焊接，拆装快速，满足无尘车间快速换管需求。

洁净等级

出厂超纯水超声清洗 + 无尘真空包装，符合半导体 Class100 洁净标准，金属离子析出量＜1ppb。

操作扭矩

氟树脂自润滑，手柄旋转扭矩极小，单手轻松换向，长期反复开关无卡滞。

五、结构创新亮点

全氟无金属一体式阀体

无内嵌金属阀芯、金属阀杆，杜绝腐蚀析出，区别于市面衬氟金属微型阀；阀体一体注塑，无拼接缝隙，杜绝介质渗入夹层腐蚀。

迷你紧凑型集成设计

同通径下体积远小于常规三通阀，可密集排布在设备机台内部、微型药液分配模组、小型清洗腔体。

零死腔流道

球芯流道圆弧过渡，无凹槽死角，药液、高纯试剂不会残留滋生杂质，避免批次交叉污染。

防静电本体

氟食素添加防静电配方，半导体光刻、清洗工序防静电击穿，适配晶圆制程。

耐老化长寿命：氟树脂耐紫外线、耐氧化，连续开关 10 万次以上密封无泄漏。

六、适用介质与应用行业

适配介质

硝酸、硫酸、强碱液、显影液、蚀刻液、高纯 IPA、各类电子级有机溶剂、超纯水、微量腐蚀化工试剂。

核心应用场景

半导体 / 面板：晶圆清洗机、显影蚀刻设备微量药液切换、取样阀；

精密化工：实验室微量腐蚀药剂配比、小型反应釜管路换向；

光伏锂电：高纯电解液、清洗液分时切换管路；

医疗生物：高纯腐蚀试剂输送、洁净流体取样；

实验室设备：小型耐腐蚀流体分配模组。

七、标准维护保养方法

日常巡检

每周目视检查阀体有无裂纹、卡套接口是否松动；无肉眼可见药液结晶附着即为正常。

定期清洁

切换不同药液前，通入超纯水冲洗内腔 3~5 分钟，清除残液；结晶轻微附着可用稀硝酸浸泡冲洗，不可使用硬质毛刷刮擦内腔氟树脂表面。

密封与寿命维护

每 6 个月完整开关 20 次防止球芯粘连；若出现内漏，直接更换整套阀体（密封与阀体一体，不可单独更换密封件）。

禁止工况

不可长期超 120℃高温、不可通入含硬质颗粒浆料（易划伤氟树脂密封面）、不可外力暴力掰动手柄。

储存要求

闲置阀门保持三路全开，真空避光存放，避免长时间受压变形。

八、产品核心优势对比

对比金属衬氟三通阀：无金属基材，零离子析出，体积缩小 60%；

对比普通 PFA 微型阀：氟食素复合材质耐性能提升，防静电，使用寿命翻倍；

对比二通阀：单阀实现两路流体分时切换，减少管路接头，降低泄漏点，节省设备安装空间。